5-axliga frästa keramiska isolatorer för halvledarutrustning och renrum

I den högriskvärld av halvledartillverkning och renrumsmiljöer måste varje komponent leverera felfri prestanda.PFT, vi specialiserar oss på hantverk5-axliga frästa keramiska isolatorersom omdefinierar precision och tillförlitlighet. Med över 20+Med många års expertis är våra lösningar konstruerade för att möta de stränga kraven från halvledarutrustning, vilket säkerställer termisk stabilitet, elektrisk isolering och kontamineringsfri drift i ultrakänsliga miljöer.

Varför välja våra 5-axliga frästa keramiska isolatorer?

1.Avancerade tillverkningsmöjligheter

Vår anläggning är utrustad medtoppmoderna 5-axliga CNC-fräsmaskiner, vilket möjliggör noggrannhet på mikronnivå vid formning av avancerade keramiker som aluminiumoxid (Al₂O₃), kiselkarbid (SiC) och aluminiumnitrid (AlN). Till skillnad från konventionella metoder möjliggör 5-axlig bearbetning komplexa geometrier – avgörande för komponenter som waferlyftstift, delar i deponeringskammaren och plasmaresistenta isolatorer.

Viktiga funktioner:

•Precision:±0,005 mm tolerans för sömlös integration i ASML-litografiverktyg eller Lam Researchs etssystem.
•Materialets mångsidighet:Optimerad för 99,8 % aluminiumoxid, högren kiseldioxid (SiC) och andra avancerade keramiker.
•Ytbehandling:Ra <0,2 μm för att minimera partikelgenerering i ISO klass 1 renrum.

2.Egenutvecklad processteknik

Våra ingenjörer har utvecklatslutna processkontrollersom anpassar sig till keramikens sprödhet under bearbetning. Genom att kombinera torrfräsningstekniker med vibrationsdämpning i realtid uppnår vi sprickfria ytor och förlängd livslängd för komponenterna – även under extrema termiska cykler (upp till 1 600 °C).

Innovationsfokus:

•Protokoll för stresslindring:Minimera mikrofrakturer i AlN-isolatorer för CVD-tillämpningar.
•Behandlingar efter bearbetning:HIP (Hot Isostatic Pressing) förbättrar densitet och korrosionsbeständighet.

3.Rigorös kvalitetssäkring

Varje isolator genomgår12-stegsinspektion, inklusive:

•CMM (koordinatmätmaskin)validering av kritiska dimensioner.
•Heliumläckagetestningför vakuumkompatibilitet.
•EDS (Energidispersiv röntgenspektroskopi)för att verifiera materialets renhet.

VårISO 9001/14001-certifierat systemsäkerställer spårbarhet från råvaruanskaffning (från Tier 1-leverantörer som CoorsTek) till slutlig förpackning.

Användningsområden: Där precision möter prestanda

Våra isolatorer är betrodda inom:

•Etsnings- och deponeringsverktyg:SiC-belagda komponenter för plasmaresistens i Applied Materials™-moduler.
•Jonimplantater:Lyftstift av aluminiumoxid med antistatiska beläggningar för att förhindra att wafern glider.
•Mätsystem:Isolatorer med låg termisk expansion för EUV-litografiske steg.

Fallstudie:En ledande halvledartillverkare minskade verktygsstopptiden med 40 % efter att ha bytt till våra specialdesignade SiC-duschmunstycken, som överträffade konkurrenternas delar vid 300 mm waferbearbetning.

Bortom tillverkning: Ett partnerskapsperspektiv

•Snabb prototypframställning:Skicka in dina CAD-filer och få funktionella prototyper inom 7 dagar.
•Förpackning för renrum på plats:Valfri klass 10 renrumsmontering för direkt verktygsintegration.
•Livstids teknisk support:Våra ingenjörer erbjuder slitageanalys och ombearbetningstjänster för att förlänga komponenternas livscykler.